露光パターン投影デバイス及び露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012280
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209019
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】レチクル(マスク)を用いることなく、任意の回路パターンを形成できる露光パターン投影デバイスと、露光装置を提供する。【解決手段】露光用光源3と、光源3の発する光線を反射させる露光パターン投影デバイス2と、露光パターン投影デバイス2による反射光を縮小投影する投影光学系5を備え、露光パターン投影デバイス2は、微小鏡面2aを複数個備え、微小鏡面2aは駆動信号11aにより反射角度が可変であり、駆動信号11aは露光パターンに基づくオンオフ情報を搭載する。

請求項（抜粋）：

微小鏡面を複数個備え、前記微小鏡面は露光光源が発する露光光を反射可能であり、かつ、前記個々の微小鏡面は駆動信号により反射角度が可変であり、前記駆動信号は露光パターンに基づくオンオフ情報を搭載した構成としたことを特徴とする反射式の露光パターン投影デバイス。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 517 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (9件)

置換されたトリアゾール類
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-207051 出願人：バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト
特開昭62-021220
特開平4-125650

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