特許
J-GLOBAL ID：200903012347543008
ノズルプレートの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
原 謙三
, 木島 隆一
, 金子 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-307850
公開番号（公開出願番号）：特開2005-074799
出願日： 2003年08月29日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 高い形成精度の第1ノズル穴(オリフィス)を備えるノズルプレートの製造方法であって、製造工程における液滴吐出面の損傷を保護することができ、これによってノズルプレートの形状精度の安定性を向上することのできる、ノズルプレートの製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に犠牲層を形成する工程と、前記犠牲層上に液状物質を吐出する第1ノズル穴11aを有する第1ノズル層1と、第1ノズル穴11aと連通し、上記液状物質の供給を受ける第2ノズル穴11bを有する第2ノズル層2との間に、第1ノズル層1よりエッチングに対する耐性が高い遮蔽層3を介在させたノズルプレートを形成し、しかる後に前記犠牲層をエッチング除去することによって、ノズルプレートを基板から離間する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
液状物質を吐出する少なくとも1つのノズル穴を有するノズルプレートの製造方法であって、
犠牲部材を準備する工程と、
前記犠牲部材上に第1のノズル層を形成する工程と、
前記第1のノズル層にノズル穴を加工する工程と、
前記ノズル穴加工後に犠牲部材をエッチングし前記第1のノズル層と基板とを離間する工程を備えることを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
2C057AF93
, 2C057AP13
, 2C057AP32
