特許
J-GLOBAL ID:200903012356861829
Nd-Ba-Cu-O系高温超伝導膜及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
石田 敬 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-393393
公開番号(公開出願番号):特開2002-198579
出願日: 2000年12月25日
公開日(公表日): 2002年07月12日
要約:
【要約】【課題】 格子マッチングが劣るMgO単結晶基板のような基板を用いた場合においても高品質なNd-Ba-Cu-O系高温超伝導膜を提供すること。【解決手段】 基板21上に位置するNd-Ba-Cu-O系高温超伝導材料の第1層25と、その上に位置するNd-Ba-Cu-O系高温超伝導材料の第2層27からなり、第1層25におけるCu組成が第2層27におけるそれより大きい膜とする。このような膜は、第1層用の原料を用い650〜700°Cの温度で第1層25を基板21上に形成し、次いでこの第1層25の上に、Cu組成が第1層用の原料におけるCu組成より小さい第2層用の原料を用い800〜850°Cの温度で第2層27を形成する方法により製造することができる。
請求項(抜粋):
基板上に位置するNd-Ba-Cu-O系高温超伝導材料の第1層と、その上に位置するNd-Ba-Cu-O系高温超伝導材料の第2層からなり、第1層におけるCu組成が第2層におけるそれより大きいことを特徴とするNd-Ba-Cu-O系高温超伝導膜。
IPC (3件):
H01L 39/24 ZAA
, H01L 39/24
, C30B 29/22 501
FI (3件):
H01L 39/24 ZAA D
, H01L 39/24 ZAA C
, C30B 29/22 501 M
Fターム (11件):
4G077AA03
, 4G077BC53
, 4G077DA02
, 4G077EF01
, 4G077HA08
, 4M113AC44
, 4M113AD35
, 4M113AD36
, 4M113AD37
, 4M113BA04
, 4M113CA34
引用特許: