X線発生装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216131
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083690
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 X線源から取り出すX線の強度(取り出し方向へのX線強度)を減少させることなく、飛散粒子阻止用薄膜や清浄光学面などへの不都合な飛散粒子の付着、堆積を低減して、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【構成】減圧された真空容器305内の標的部材303に励起エネルギービーム311を照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線314を取り出すX線発生装置において、前記標的部材303及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子の放出量の方向分布を制御する飛散粒子制御部材301を設けたことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子の放出量の方向分布を制御する飛散粒子制御部材を設けたことを特徴とするX線発生装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

レーザプラズマX線源
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-092829 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-231850

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