特許
J-GLOBAL ID：200903012416706186
レジスト除去方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257699
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267893
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 半導体基板などの物品上の不要となったレジスト膜を簡単良好に剥離除去する。【構成】 ウエハを所定姿勢で吸着保持するテーブル6と、テーブル6上のウエハの表面に粘着テープを貼付ける粘着テープ貼付け機構8と、貼付けられた粘着テープをウエハ表面から一定方向に剥離する粘着テープ剥離機構9と、テーブル6の回転角度を変更するテーブル回転手段と、必要に応じてウエハの表面を加湿するウエハ加湿機構とを備えて、1枚のウエハに対して異なった方向に複数回の粘着テープ剥離処理を行えるように構成する。
請求項（抜粋）：
レジストパターンが存在する物品上に粘着テープを貼付け、前記粘着テープを剥離することによって、前記物品表面のレジストを除去する第一工程と、前記第一工程で処理された前記物品の表面に、前記第一工程とは異なる方向から粘着テープを貼付け、前記粘着テープを剥離することによって、前記物品表面のレジストを除去する第二工程と、を備えたことを特徴とするレジスト除去方法。
IPC (3件)：
H01L 21/30
, G03F 7/42
, H01L 21/304 341
