特許
J-GLOBAL ID：200903012546649249
描画装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小林 和憲
, 飯嶋 茂
, 小林 英了
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-023961
公開番号（公開出願番号）：特開2008-191302
出願日： 2007年02月02日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：
【課題】生産性の向上を図りつつ、装置の簡略化を図る。【解決手段】第1及び第2移動ステージ12a,12bは、それぞれ基板11を積載し、ガイドレール15に支持されて同一の一次元軌道上を往復移動する。この軌道上には、描画データに基づき、下方を通過する基板11に対して順次に露光を行う露光部17が設けられている。露光部17は、第1移動ステージ12aが第2移動ステージ12bから離間する方向に通過する第1期間と、第2移動ステージ12bが第1移動ステージ12aへ近接する方向に通過する第2期間とにおいて露光を行う。画像処理ユニット21は、第1期間と第2期間とにおいて、露光部17に同一の描画データを与える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
描画データに基づき、描画領域を通過する基板に対して順次に描画を行う描画手段と、
前記描画手段の両側に基板をそれぞれ配し、前記描画領域を通過するように各基板を交互に前記描画手段に対して相対的に往復移動させる移動手段と、
前記描画手段を制御し、一方の基板が一方向に前記描画領域を通過する第1期間と、他方の基板が前記一方向と同方向に前記描画領域を通過する第2期間とにおいて描画を行わせる描画制御手段と、
を備えたことを特徴とする描画装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, H01L21/30 529
2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097BA10
, 2H097BB01
, 2H097BB10
, 2H097GB03
, 2H097LA09
, 2H097LA12
, 5F046BA07
, 5F046CB01
, 5F046CC01
出願人引用 (1件)
-
画像形成装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-180613
出願人：富士写真フイルム株式会社
審査官引用 (3件)
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シート材搬送装置及び画像記録装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-036566
出願人：富士写真フイルム株式会社
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画像形成装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-191116
出願人：富士写真フイルム株式会社
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露光装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-434694
出願人：日本精工株式会社, NSKプレシジョン株式会社
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