特許
J-GLOBAL ID：200903083208579108
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-434694
公開番号（公開出願番号）：特開2005-189775
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 露光の高能率化を図ると共に、装置コストの低減を図る。【解決手段】 被露光材としての基板Wを保持する基板保持部1と、露光すべきパターンを有するマスクMをマスク保持部を介して保持するマスクステージ5と、マスクMのパターンを基板Wに露光転写すべく露光用の光をマスクMに向けて照射する照射手段6と備えた露光装置において、基板保持部1を複数箇所配置すると共に、複数の基板保持部1を個別に露光位置Pに配置すべくマスクMに対して基板保持部1を移動させる移動手段3,8と、複数の基板保持部1の内のいずれかが露光配置Pに配置されたときに、該露光位置Pに配置されてない基板保持部1に対して基板Wを搬入、搬出する基板搬送部10とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被露光材としての基板を保持する基板保持部と、露光すべきパターンを有するマスクをマスク保持部を介して保持するマスクステージと、前記マスクのパターンを前記基板に露光転写すべく露光用の光を前記マスクに向けて照射する照射手段と備えた露光装置において、
前記基板保持部を複数箇所配置すると共に、複数の前記基板保持部を個別に露光位置に配置すべく前記マスクに対して相対移動させる移動手段と、複数の前記基板保持部の内のいずれかが前記露光配置に配置されたときに、該露光位置に配置されてない前記基板保持部に対して前記基板を搬入、搬出する基板搬送部とを備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, H01L21/68 K
2H097BA10
, 2H097DB03
, 2H097GA45
, 2H097LA12
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA30
, 5F031GA48
, 5F031HA56
, 5F031HA60
, 5F031MA03
, 5F031MA27
, 5F031PA03
, 5F031PA04
, 5F031PA30
