特許
J-GLOBAL ID：200903012592996611
狭分散性のポリ(p-ヒドロキシ-α-メチルスチレン)の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-104720
公開番号（公開出願番号）：特開平10-298235
出願日： 1997年04月22日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：
【要約】【課題】 工業的に入手容易なp-ヒドロキシ-α-メチルスチレンを原料とする、化学増幅型レジスト材等として有用な狭分散性のポリ(p-ヒドロキシ-α-メチルスチレン)の簡便かつ効率的な製造方法を提供する。【解決手段】 p-ヒドロキシ-α-メチルスチレンを酸の存在下ビニルエーテル類との反応によりアルコキシアルコキシ化した後、ある種の開始剤によりアニオン重合させ、これをプロトン酸と作用させることにより、狭分散性のポリ(p-ヒドロキシ-α-メチルスチレン)を製造する。
請求項（抜粋）：
?@ p-ヒドロキシ-α-メチルスチレンと化学式(1)【化1】(式中、R1は、水素または炭素数1ないし3のアルキル基、R2は、水素、炭素数1ないし6のアルキル基または炭素数1ないし6アルコキシ基、R3は、炭素数1ないし20の無置換またはアルコキシ置換のアルキル基、炭素数5ないし10のシクロアルキル基、または炭素数6ないし20の無置換またはアルコキシ置換のアリール基を示し、また、R2とR3とは互いに結合して環構造を形成してもよい。)で示されるビニルエーテル類とを酸の存在下に反応させて化学式(2)【化2】(式中、R1は、水素または炭素数1ないし3のアルキル基、R2は、水素、炭素数1ないし6のアルキル基または炭素数1ないし6アルコキシ基、R3は、炭素数1ないし20の無置換またはアルコキシ置換のアルキル基、炭素数5ないし10のシクロアルキル基、または炭素数6ないし20の無置換またはアルコキシ置換のアリール基を示し、また、R2とR3とは互いに結合して環構造を形成してもよい。)で示される1-アルコキシアルコキシ-4-(1-メチルエテニル)ベンゼンを得、?A これを化学式(3)【化3】(式中、R4、R5は、それぞれ独立に、炭素数1ないし10のアルキル基、または炭素数7ないし11のアラルキル基、R6は、水素または炭素数1ないし10のアルキル基、Mはリチウム、ナトリウム、カリウムおよびセシウムよりなる群から選ばれるアルカリ金属を示す。)、化学式(4)【化4】(式中、R7は、水素または炭素数1ないし10のアルキル基、R8は、炭素数1ないし3のアルキル基、または炭素数6ないし11のアリール基、R9は、水素、または炭素数1ないし10のアルキル基、アルコキシ基またはアルコキシアルコキシ基、Mはリチウム、ナトリウム、カリウムおよびセシウムよりなる群から選ばれるアルカリ金属、lは1ないし200の整数を示す。)、または、化学式(5)【化5】(式中、R10は、炭素数1ないし3のアルキル基、R11は、水素、または炭素数1ないし10のアルキル基、アルコキシ基またはアルコキシアルコキシ基、Mはリチウム、ナトリウム、カリウムおよびセシウムよりなる群から選ばれるアルカリ金属、mおよびnは1ないし100の整数を示す。)で示される有機アルカリ金属化合物を重合開始剤としてアニオン重合させて、化学式(6)【化6】(式中、R1は、水素または炭素数1ないし3のアルキル基、R2は、水素、炭素数1ないし6のアルキル基または炭素数1ないし6アルコキシ基、R3は、炭素数1ないし20の無置換またはアルコキシ置換のアルキル基、炭素数5ないし10のシクロアルキル基、または炭素数6ないし20の無置換またはアルコキシ置換のアリール基を示し、また、R2とR3とは互いに結合して環構造を形成してもよい。)で示される繰り返し単位を有する狭分散性のポリ{1-アルコキシアルコキシ-4-(1-メチルエテニル)ベンゼン}を得、?B これを有機溶媒の存在下にプロトン酸と接触させて、脱アルコキシアルコキシ化反応を行うことを特徴とする、化学式(7)【化7】で示される繰り返し単位を有する狭分散性のポリ(p-ヒドロキシ-α-メチルスチレン)の製造方法。
IPC (4件)：
C08F 12/22
, C08F 4/46
, C08F 8/12
, C08F 12/24
C08F 12/22
, C08F 4/46
, C08F 8/12
, C08F 12/24
