走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩野入章夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-228959
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083651
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】追従性の高い微動機構により追従性を向上させた走査プローブ顕微鏡を提供する。【構成】圧電駆動部材2により構成される微動機構1により走査を行なう走査型プローブ顕微鏡において、圧電駆動部材2は少なくとも1軸以上において複数の駆動部分4,5,6,8から構成し、その複数の駆動部分4,5,6,8は微動機構1の駆動制御信号の分割された特定帯域の周波数成分を持つ信号により駆動する。

請求項（抜粋）：

圧電駆動部材により構成される微動機構により走査を行なう走査型プローブ顕微鏡において、圧電駆動部材は少なくとも1軸以上において複数の駆動部分からなり、該複数の駆動部分は微動機構の駆動制御信号の分割された特定の帯域の周波数成分を持つ信号により駆動されることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 21/30 , G01B 7/34 , G01N 37/00 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-287606
特開平2-132303
特開昭63-236992

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