特許

J-GLOBAL ID：200903012680376925

細いビームのための向上した機械的保護を提供するための、装置、方法及びシステム

発明者： チュー パン ,  ヴィルヘルム フライ ,  アンドレアス ニーンドルフ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (2件)： 矢野 敏雄 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-422959
公開番号（公開出願番号）：特開2004-202683
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】マイクロメカニカルビームのねじり剛性に著しく影響することなく曲げ剛性を増大させ、マイクロメカニカルビームの強度を増大する。【解決手段】ねじり剛性に著しく影響することなくマイクロメカニカルビームの曲げ剛性を増大させるためにマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成された支持構造体205が設けられている。【選択図】図2a

請求項（抜粋）：

マイクロメカニカルビームと共に使用するための装置において、 ねじり剛性に著しく影響することなくマイクロメカニカルビームの曲げ剛性を増大させるためにマイクロメカニカルビームに直接に取り付けられるように構成された支持構造体が設けられていることを特徴とする、マイクロメカニカルビームと共に使用するための装置。

IPC (2件)：

B81B3/00 ,  G02B26/10

FI (2件)：

B81B3/00 ,  G02B26/10 104Z

Fターム (3件)：

2H045AB18 ,  2H045AB73 ,  2H045DA02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• ドイツ連邦共和国特許出願公開第19851667号明細書
  
• ドイツ連邦共和国特許出願公開第19963382号明細書
  
• ドイツ連邦共和国特許出願公開第19941045明細書
  

審査官引用 (1件)

• 超小型電子マシンデバイスおよびデータ記憶モジュール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-100068   出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー