特許
J-GLOBAL ID：200903012721987810
斜め投影光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 静夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008619
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206791
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】高倍率で斜め投影角度が充分であり、しかもレンズ径やレンズ群の全長を短くしてコンパクト化を達成した斜め投影光学系を提供する。【解決手段】少なくとも2つの共軸レンズ群より構成され、1次像を2次像に投影する投影レンズ系を有し、その共軸レンズ群は、互いに偏心して配置されており、中間実像を結像しない斜め投影光学系において、|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |<10 ゚1<θ<SB>p</SB> /P<SB>t</SB> <10を満足する構成とする。但し、|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |は1次像面と2次像面のなす角度の絶対値、θ<SB>p</SB> は各共軸レンズ群のパワーと、各共軸レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのなす角度とを乗じて絶対値をとった値を、全て加算した値、P<SB>t</SB> は各共軸レンズ群のパワーの絶対値を全て加算した値である。
請求項（抜粋）：
1次像を2次像に拡大或いは縮小して投影する投影レンズ系を有し、該投影レンズ系は、少なくとも2つの共軸レンズ群より構成されていて、該共軸レンズ群は、互いに偏心して配置されており、縮小側像面から拡大側像面まで中間実像を結像しない斜め投影光学系において、以下の条件式範囲を満足する事を特徴とする斜め投影光学系、|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |<10 ゚1<θ<SB>p</SB> /P<SB>t</SB> <10但し、|θ<SB>i</SB> -θ<SB>o</SB> |:1次像面と2次像面のなす角度の絶対値θ<SB>p</SB> :各共軸レンズ群のパワーと、各共軸レンズ群の対称軸と拡大側像面に垂直な直線とのなす角度とを乗じて絶対値をとった値を、全て加算した値P<SB>t</SB> :各共軸レンズ群のパワーの絶対値を全て加算した値である。
IPC (3件)：
G02B 27/18
, G02B 13/18
, G02B 13/24
G02B 27/18 Z
, G02B 13/18
, G02B 13/24
