セラミックグリーンシートの加工方法及び加工装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095770
公開番号（公開出願番号）：特開2000-280225
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：

【要約】【課題】セラミックグリーンシートの所定の位置に、均一な形状及び寸法を有する複数個の貫通孔を効率よく形成することを可能にする。【解決手段】レーザ光源1から放射されたレーザビーム2を、回折格子3を通過させて、形成すべき貫通孔の形状及び寸法に対応する均一な形状及び寸法の複数個のレーザビームに分光した後、均一に複数個に分光されたレーザビームをセラミックグリーンシート10に照射して、セラミックグリーンシート10に均一な形状及び寸法の複数個の貫通孔を同時に形成する。

請求項（抜粋）：

セラミックグリーンシートに同一の形状及び寸法を有する複数個の貫通孔を形成するためのセラミックグリーンシートの加工方法であって、レーザ光源から放射されたレーザビームを、回折格子を通過させて、形成すべき貫通孔の形状及び寸法に対応する均一な形状及び寸法の複数個のレーザビームに分光した後、均一に複数個に分光されたレーザビームをセラミックグリーンシートに照射して、セラミックグリーンシートに均一な形状及び寸法の複数個の貫通孔を同時に形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。

IPC (8件)：

B28B 11/12 , B23K 26/00 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 , B23K 26/08 , H01F 41/04 , H05K 3/00 , B23K101:40

FI (9件)：

B28B 11/12 , B23K 26/00 H , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 C , B23K 26/06 E , B23K 26/08 B , B23K 26/08 D , H01F 41/04 C , H05K 3/00 N

Fターム (14件)：

4E068AF02 , 4E068CA03 , 4E068CD02 , 4E068CD04 , 4E068CD05 , 4E068CD08 , 4E068CE03 , 4E068CE04 , 4E068DA09 , 4E068DB12 , 4G055AA08 , 4G055AC01 , 4G055BA83 , 5E062DD04

引用特許：

審査官引用 (7件)

セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-045838 出願人：株式会社村田製作所
特開平2-117791
特公昭62-013120

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