特許
J-GLOBAL ID：200903093546204549

セラミックグリーンシートの加工方法及びレーザ加工装置

発明者：
山本 高弘

山本 高弘 について

, 
森本 正士

森本 正士 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 森下 武一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045838
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242617
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 レーザビームによってセラミックグリーンシートに所望の形状のビアホール用穴を複数個同時に高精度に形成する。【解決手段】 レーザビーム穴形成装置1は、概略、レーザ光源2、集光レンズ3、XYテーブル4、レーザ光源駆動回路5、制御回路6及びXYテーブル駆動回路7で構成されている。XYテーブル4の上面に、被加工物であるセラミックグリーンシート10が載置される。セラミックグリーンシート10の上面には、マスク15が載置される。マスク15には、所望のビアホール用穴と同形状のビアホール用透光部が複数個設けられている。レーザ光源2から放射されたレーザビームLは、マスク15の複数のビアホール用透光部を通過し、セラミックグリーンシート10を照射する。
請求項（抜粋）：
テーブルに支持されたセラミックグリーンシート上に所定のビアホール用透光部を設けたマスクを載置し、レーザ光源から放射されたレーザビームを前記マスクに照射して前記ビアホール用透光部を通過したレーザビームで前記セラミックグリーンシートにビアホール用穴を形成することを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。
IPC (2件)：
H05K 3/00 ,  B23K 26/00
FI (2件)：
H05K 3/00 N ,  B23K 26/00 H
引用特許：
審査官引用 (4件)
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