特許
J-GLOBAL ID：200903012740275910
周辺露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285233
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135106
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 基板上の素子領域の外形に沿って階段状に高精度で周辺露光を行うことができる周辺露光装置を提供する。【解決手段】 基板回転部10に保持した基板1の上方にCCDカメラ51を配置し、基板1上の素子領域の少なくとも1つのスクライブラインの交点近傍の画像を入力し、交点の位置を算出する。また、CCDラインセンサ40により基板1の端縁位置を検出し、端縁位置とスクライブラインの交点位置とから素子領域の外形寸法を算出し、さらに素子領域の外形に沿った階段状の周辺露光領域の位置座標を算出する。光照射部20は、周辺露光領域の位置座標に基づいて基板1の周辺領域を露光する。
請求項（抜粋）：
基板上に塗布された感光膜のうち、前記基板の素子領域の外側にある周辺露光領域を前記素子領域の外形に沿って階段状に露光する周辺露光装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、前記基板および前記素子領域の形状情報を入力する形状入力手段と、前記素子領域内のスクライブラインの交点近傍の形状を画像データとして入力する画像入力手段と、前記画像入力手段から入力された画像から前記スクライブラインの交点位置を検出し、前記交点位置および前記形状入力手段によって入力された前記基板および前記素子領域の形状情報に基づいて前記素子領域の外形位置を算出し、前記素子領域の外形位置に基づいて前記素子領域の外形に沿った周辺露光領域の位置を算出する露光領域算出手段と、前記感光膜に光を照射する光照射手段と、前記露光領域算出手段によって算出された前記周辺露光領域の位置に基づいて前記感光膜の周辺露光領域が露光されるように前記光照射手段を制御する制御手段とを備えたことを特徴する周辺露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 577
, G03F 7/20 521
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (1件)
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