特許
J-GLOBAL ID：200903012743055164
非接触三次元測定方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-161099
公開番号（公開出願番号）：特開平11-351841
出願日： 1998年06月09日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】【課題】 微細なLSIパッケージのBGAの平面度を高精度に三次元測定する。【解決手段】 2種類の測定手段、即ち画像測定装置で使用されるCCDカメラと、レーザビームを利用して非接触で変位を測定するレーザプローブとを併設して1つの撮像ユニットを構成し、この撮像ユニットを各測定値に基づいて、XYZ方向に駆動しつつ、レーザプローブを指定された測定軌道に沿って、且つボールグリッドアレイの各ボールの頂点を含む所定範囲を指定された頂点走査パターン(ジグザグパターンや螺旋パターン等)に従って倣い測定することにより三次元の点列データを取得する。そして、得られた点列データに対して平面度の評価処理を実行する。
請求項（抜粋）：
ICパッケージからなるワークを撮像して画像測定用の二次元画像情報を出力する撮像手段及び前記ワーク上の所定の測定点との距離を変位量として検出可能な非接触変位計とを備えた撮像ユニットを測定三次元空間内で移動させることにより三次元点列データを得、この三次元点列データに基づいて前記ICパッケージのボールグリッドアレイの平面度を測定する非接触三次元測定方法であって、前記非接触変位計を指定された測定軌道に沿って、且つ前記ボールグリッドアレイの各ボールの頂点を含む所定範囲を指定された頂点走査パターンに従って倣い測定することにより三次元の点列データを取得するステップと、このステップで得られた点列データに対して平面度の評価処理を実行するステップとを備えたことを特徴とする非接触三次元測定方法。
引用特許：
前のページに戻る
