特許

J-GLOBAL ID：200903012755300059

移載装置

発明者： 菊地 一夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017941
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205062
出願日： 1994年01月17日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：

【要約】【目的】 移載時における装置動作がきわめてスムースで、しかもクリーン環境下での使用に適した移載装置を提供する。【構成】 第1リンク1、第2リンク2および一対の第1リンクアーム3により第1の平行クランク機構を構成し、第2リンク2、移載用リンク4および一対の第2リンクアーム5により第2の平行クランク機構を構成する。第1の平行クランク機構のクランク運動を第2の平行クランク機構に伝達する伝達機構を、一対の第1リンクアーム3のいずれか一方に固定された第1プーリ7と、一対の第2リンクアーム5のいずれか一方に固定された第2プーリ9と、第1プーリ7と第2プーリ9との間に張架された一対のベルト部材10とにより構成する。そして、第1の平行クランク機構をクランク運動させることにより、伝達機構を介して第2の平行クランク機構をクランク運動させ、移載用リンクで担持した被移載物を移載する。

請求項（抜粋）：

第1リンクと第2リンクとの間に一対の第1リンクアームを架け渡してなる第1の平行クランク機構と、前記第2リンクと移載用リンクとの間に一対の第2リンクアームを架け渡してなる第2の平行クランク機構と、前記一対の第1リンクアームのいずれか一方に固定され且つ前記第2リンクに回転自在に支持された第1プーリと、前記一対の第2リンクアームのいずれか一方に固定され且つ前記第2リンクに回転自在に支持された第2プーリと、前記第1プーリと前記第2プーリとの間に互いに交差する状態で張架された一対のベルト部材とから成り、前記第1の平行クランク機構のクランク運動を前記第2の平行クランク機構に伝達する伝達機構とを備え、前記第1の平行クランク機構をクランク運動させることにより、前記伝達機構を介して前記第2の平行クランク機構をクランク運動させ、前記移載用リンクで担持した被移載物を移載することを特徴とする移載装置。

IPC (5件)：

B25J 9/06 ,  B25J 18/02 ,  B65G 47/90 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-331090
  
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-211649   出願人：東京エレクトロン株式会社