特許

J-GLOBAL ID：200903012764180775

単結晶製造装置

発明者： 黒坂 昇栄 ,  冨岡 純輔 ,  小林 正和 ,  義本 明広 ,  大司 成俊 ,  三村 和弘 ,  門田 浩 ,  吉灘 裕 ,  岡村 健治
出願人/特許権者： コマツ電子金属株式会社 ,  株式会社小松製作所 ,  コマツ工機株式会社
代理人 (1件)： 松澤 統
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033524
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217292
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 単結晶に形成したくびれ部を保持しつつ単結晶を引き上げる単結晶保持装置が高温による機能劣化を起こさず、単結晶保持後の引上げワイヤの制御が容易な単結晶製造装置を提供する。【解決手段】 この単結晶製造装置は、下端に所定の角度範囲で上下方向に揺動可能な複数の爪(15)を備え、炉内の所定位置に吊り下げられた単結晶保持装置(13)と、結晶引上げワイヤ(4)に固着した保持装置載置部材(16)の下に弾性体(17)を介して取着したシードホルダ(5)とを有する。くびれ部(9b)の上方に形成した拡径部(9a)が爪(15)を押し上げて通過し、爪(15)が下限位置に停止した後、保持装置載置部材(16)が単結晶保持装置(13)の上部に当接して単結晶保持装置(13)を担持しつつ引き上げる。

請求項（抜粋）：

単結晶に形成したくびれ部を単結晶保持装置によって保持しつつ単結晶を引き上げる単結晶製造装置において、炉内の所定位置に吊り下げられ、下端に所定の角度範囲で上下方向に揺動可能な複数の爪(15)を備えた単結晶保持装置(13)と、結晶引上げワイヤ(4) に繋着したシードホルダ(5) の上方に固着した保持装置載置部材(16)とを有し、前記くびれ部(9b)の上方に形成した拡径部(9a)が単結晶保持装置(13)の爪(15)を押し上げて通過し、爪(15)が下限位置に停止した後、保持装置載置部材(16)が単結晶保持装置(13)の上部に当接して単結晶保持装置(13)を担持しつつ引き上げることを特徴とする単結晶製造装置。

IPC (2件)：

C30B 15/30 ,  H01L 21/208

FI (2件)：

C30B 15/30 ,  H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 単結晶引上装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-236654   出願人：住友シチックス株式会社