特許

J-GLOBAL ID：200903012772035504

蒸着膜の形成方法

発明者： 木村 俊之 ,  山田 正信 ,  黒田 功 ,  山田 勝信
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150202
公開番号（公開出願番号）：特開平8-013136
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【目的】 蒸着膜の物性をより安定化する。【構成】 2種のモノマー1,2 を一方に開口部4a,5a を有する蒸発管4,5 にそれぞれ収容して真空中で同時に加熱蒸発させて、対象物3 上に前記モノマー1,2 の重合体からなる蒸着膜を形成する蒸着膜の形成方法において、前記モノマー1,2を上方開口した箱型の充填容器6,7 に充填した後に、その充填容器6,7 を水平状態にして前記蒸発管4,5 内に開口部4a,5a から挿入するようにしてある。モノマー1,2 を充填容器6,7 に充填する際には、目視によりほぼ開口全体に渡り分布させることができ、その後、その分布状態を保ったまま蒸発管内にモノマー1,2 を収容できる。

請求項（抜粋）：

2種以上のモノマーを一方に開口部を有する複数の蒸発管にそれぞれ収容して真空中で同時に加熱蒸発させて、対象物上に前記モノマーの重合体からなる蒸着膜を形成する蒸着膜の形成方法において、前記モノマーを上方開口した箱型の充填容器に充填した後に、その充填容器を水平状態にして前記蒸発管内に開口部から挿入することを特徴とする蒸着膜の形成方法。

IPC (3件)：

C23C 14/12 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08J 5/18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 全方向同時蒸着重合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-323808   出願人：日本真空技術株式会社
• 特公昭53-043904
  
• 特開平4-214011
  
• 全方向同時蒸着重合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-271309   出願人：日本真空技術株式会社