特許

J-GLOBAL ID：200903012784123794

熱処理装置

発明者： 川上 俊二 ,  福島 弘樹
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153711
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】 処理温度を高温にした場合に温度検知体から被処理体に与える悪影響を十分に防止することができ、比較的高温域の温度管理を必要とする処理を可能にした熱処理装置を提供することにある。【構成】 被処理体Wを収容して熱処理を施すための処理管3と、この処理管3の周囲に設けられ処理管3内を加熱する加熱部5と、この加熱部5による加熱を均一にするために加熱部5と前記処理管3との間に処理管3を覆うように配置された均熱管6とを備え、前記処理管3と均熱管6との間の隙間Sに温度検知体14を配置している。従って、被処理体Wと温度検知体14とが処理管3により隔絶され、処理温度を高温にした場合に温度検知体14から被処理体Wに与える悪影響を十分に防止することが可能となり、比較的高温域の温度管理を必要とする処理が可能となる。

請求項（抜粋）：

被処理体を収容して熱処理を施すための処理管と、この処理管の周囲に設けられ処理管内を加熱する加熱部と、この加熱部による加熱を均一にするために前記加熱部と前記処理管との間に処理管を覆うように配置された均熱管とを備え、前記処理管と均熱管との間の隙間に温度検知体を配置したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/22 511 ,  G01K 7/02 ,  H01L 21/324 ,  H05B 3/00 330

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-206718
  
• 温度検出端
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-235592   出願人：日本フエンオ-ル株式会社
• 特開平4-206718