プロフィルメータ用の較正標準、製造する方法及び測定方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：合田潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-082715
公開番号（公開出願番号）：特開平7-287023
出願日： 1995年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】プロフィルメーター用、特に走査トンネリング顕微鏡(STM)または原子間力顕微鏡(AFM)用の、高精度であり、頻繁な探針チップの取外しなしで較正測定を行える、較正標準を提供すること。【構成】本発明の1つの較正標準は、少なくとも2つのV字形の溝2を有し、溝2間の山形部分の対向側壁3a、3bが鋭いブレード3を与えるように形成された単結晶材料1からなる。この較正標準は探針チップの径を測定するのに用いられる。山形部分の代わりに柱またはリッジ構造を有する較正標準は探針チップのテーパ角を測定するのに用いられる。

請求項（抜粋）：