特許
J-GLOBAL ID：200903012900019940

光学式位置測定装置

発明者：
ミヒャエル・ヘルマン

ミヒャエル・ヘルマン について

, 
カルステン・ゼンディク

カルステン・ゼンディク について


出願人/特許権者：
ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング

ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング について


代理人 (3件)： 江崎 光史 ,  奥村 義道 ,  鍛冶澤 實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-019213
公開番号（公開出願番号）：特開2009-186471
出願日： 2009年01月30日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】測定方向に相対的に移動する2つの物体に関して、それらのずれに応じて位相のずれたn個(n>1)の増分信号を生成する光学式位置測定装置を提示する。【解決手段】光源から放射された光束と走査光路内の測定尺及び任意選択による更に別の光学格子との相互作用によって、走査面内に周期TPSの縞模様が生じる。増分信号を生成するための走査格子は、測定方向に対して縞模様周期TPSと等しい走査格子周期TPAGで配置された複数のブロックから構成されている。各ブロックは、専ら測定方向に対して配置された、TPAG/nに等しい幅bxのn個の格子区間から成り、各格子区間が、格子区間を通過して伝播して行く光束を複数の空間方向に偏向させるように作用する周期的な格子構造を有し、検出面内には、相異なる空間方向に対して、検出器エレメントが配置されており、その検出面は、走査格子から出て来た光束が空間的に完全に分離させている。【選択図】図1c
請求項（抜粋）：
測定尺と、 走査面内に走査格子が配置されるとともに、その走査格子の後に複数の検出器エレメントが配置された走査ユニットと、 から構成された、測定方向(x)に相対的に移動する2つの物体に関して、それらのずれに応じて位相のずれたn個(n>1)の増分信号を生成する光学式位置測定装置であって、 光源から放射された光束と走査光路内の測定尺及び任意選択による更に別の光学格子との相互作用によって、走査面内に縞模様周期(TPS )の縞模様を生じさせる光学式位置測定装置において、 全ての増分信号(S_0°,S_90°,S_180°,S_270°;S_0°,S_120°,S_240°)を生成するための走査格子(17;170;270;370)が、測定方向(x)に対して縞模様周期(TPS )と等しい走査格子周期(TPAG)で周期的に配置された複数のブロックから構成されており、各ブロックが、専ら測定方向(x)に対して配置された、走査格子周期(TPAG)の1/nに等しい幅(bx )のn個の格子区間(17.1〜17.4;170.1〜170.4;270.1〜270.3;370.1〜370.3)から成り、各格子区間(17.1〜17.4;170.1〜170.4;270.1〜270.3;370.1〜370.3)が、当該の格子区間(17.1〜17.4;170.1〜170.4;270.1〜270.3;370.1〜370.3)を通過して伝播して行く光束を複数の空間方向に偏向させるように作用する周期的な格子構造を有し、1つのブロック内の格子区間(17.1〜17.4;170.1〜170.4;270.1〜270.3;370.1〜370.3)によって生じる当該の空間方向が異なっていることと、 検出面内には、当該の相異なる空間方向に対して、検出器エレメント(16.1〜16.8;160.1〜160.8;260.1〜260.6;360.1〜360.6)が配置されており、その検出面は、走査格子(17;170;270;370)から出て来た光束が空間的に完全に分離させている範囲内に有ることと、 を特徴とする光学式位置測定装置。
IPC (2件)：
G01D 5/38 ,  G01D 5/347
FI (2件)：
G01D5/38 A ,  G01D5/34 L
Fターム (12件)：
2F103BA04 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103DA13 ,  2F103EA17 ,  2F103EB02 ,  2F103EB03 ,  2F103EB16 ,  2F103EC03 ,  2F103FA06
引用特許：
審査官引用 (3件)

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