特許

J-GLOBAL ID：200903012920139071

石英系コーナーミラー導波路とその製造方法

発明者： 大山 功 ,  清水 健男
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-160689
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005850
出願日： 1994年06月20日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 反射面での凹凸をなくして光の散乱損失の要因を除去した石英系コーナーミラー導波路とその製造方法を提供する。【構成】 基板の上に石英系ガラスの下部クラッド層が形成され、下部クラッド層の上に石英系ガラスのコア層が形成され、下部クラッド層およびコア層が所定パターンの折れ曲がり導波路2を形成し、所定パターンの折れ曲がり導波路2を埋め込むように石英系ガラスの上部クラッド層17が形成され、かつ折れ曲がり導波路2のコーナー部2Aの近傍には反射面3Aが形成された石英系コーナーミラー導波路であって、所定パターンの折れ曲がり導波路2のコーナー部2Aには反射面3Aと平行で、かつ所定の間隔を有した導波路コーナー面2Bが形成されている。【効果】 反射面にはコア層が直接露出していないから反射面にコア層およびクラッド層のエッチング処理による凹凸の段差が存在していないので、反射部での散乱損失が少なくなっている。

請求項（抜粋）：

基板の上に石英系ガラスの下部クラッド層が形成され、前記下部クラッド層の上に石英系ガラスのコア層が形成され、前記下部クラッド層および前記コア層が所定パターンの折れ曲がり導波路を形成し、前記所定パターンの折れ曲がり導波路を埋め込むように石英系ガラスの上部クラッド層が形成され、かつ前記折れ曲がり導波路の折れ曲がり部近傍には反射面が形成された石英系コーナーミラー導波路であって、前記折れ曲がり導波路の折れ曲がり部には、前記反射面と平行な導波路コーナー面が形成されていることを特徴とする石英系コーナーミラー導波路。

IPC (3件)：

G02B 6/122 ,  G02B 6/10 ,  G02B 6/13

FI (2件)：

G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 石英系ミラー導波路の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-028009   出願人：古河電気工業株式会社