特許
J-GLOBAL ID：200903012925225634
揺動駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329158
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162394
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 モータの負担を軽くして揺動駆動されるべき部材を円滑に、精度よく揺動させることができる揺動駆動装置を提供する。【解決手段】 モータMにより直接的に揺動駆動される揺動部材1と、部材1の揺動動作を往復直線運動に変換する機構であって部材1に連動回動する歯車4とこれにかみ合うラックギア5とを含む機構Tと、部材1の中立位置NPから一方向への揺動に伴ってラックギア5が一方向に直線運動することで反力(変形エネルギー)を蓄えるバネ71と、部材1の中立位置NPから反対方向への揺動に伴ってラックギア5が反対方向に直線運動することで反力(変形エネルギー)を蓄えるバネ72とを備えている揺動駆動装置A。
請求項（抜粋）：
揺動駆動される揺動部材と、前記揺動部材の、重力によるモーメントが加わらない中立位置から一方向への揺動変位に応じて該揺動部材に加わる偏心荷重に基づくモーメントを略相殺する反力を蓄えるバネと、前記揺動部材の前記中立位置から反対方向への揺動変位に応じて該揺動部材に加わる偏心荷重に基づくモーメントを略相殺する反力を蓄えるバネとを備えていることを特徴とする揺動駆動装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/50
, C23C 16/44
, H01L 21/00
H01J 37/317 B
, C23C 14/50 K
, C23C 16/44 G
, H01L 21/00
