特許
J-GLOBAL ID：200903012935750419
カラーフィルターレジストの塗布方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-266513
公開番号（公開出願番号）：特開平8-129104
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：
【要約】【目的】 カラーフィルターの製造に当り、色材料を含有する光重合性組成物の使用量を少なくして、透明基板上に塗布液を均一に塗布する。【構成】 塗布を、予備塗布と予備塗布後の本塗布との少なくとも2段階で行う。塗布液膜厚が10〜50μmで、透明基板の周辺部の非塗布部分の面積の割合が、全被塗布表面の面積の40%以下となるように予備塗布を行った後、スピナー塗布装置を用いて本塗布を行う。【効果】 塗布を2段階にすることで、塗布液の飛散を減少させることができる。前段の塗布を特定の塗布条件とすることで、塗布の均一性が高められる。高塗着率で塗布が可能となり、カラーフィルターレジストの使用量を低減させることができる。粘性、チキソトロピー性が高い塗布液でも均一に塗布できる。大面積の透明基板であっても、その周縁部分まで広範囲に均一塗布できる。カラーフィルター低コスト化、更には大型化を実現できる。
請求項（抜粋）：
透明基板上にカラーフィルターレジストを含有する塗布液を塗布する方法において、該塗布を、予備塗布と予備塗布後の本塗布との少なくとも2段階で行う方法であって、塗布液膜厚が10〜50μmで、透明基板の周辺部の非塗布部分の面積の割合が、全被塗布表面の面積の40%以下となるように予備塗布を行った後、スピナー塗布装置を用いて本塗布を行うことを特徴とするカラーフィルターレジストの塗布方法。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G03F 7/16
, H01L 21/027
