特許
J-GLOBAL ID：200903015154972857
液体のスピンコーティング方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252201
公開番号（公開出願番号）：特開平7-080387
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 スピンコーティング法における予備塗布において、従来のディスペンサよりの被膜液の塊状塗布物を低回転のスピニングによって液膜化することを避け、最初よりファン状スプレイ用エアレススプレイノズルより低圧にて液状塗布物を膜状に塗布することによって、上記スピニングによる液状塗布物の飛散消費量を少なくする方法と装置とである。【構成】 従来のスピンコータにおけるディスペンサに代はって、ファン状スプレイ用エアレススプレイノズルを使用し、低圧の下にて帯状の液膜を吐出する方法と装置とである。
請求項（抜粋）：
先ず比較的低速にて水平に回転する板状被塗物(D)の面上に、ファン状スプレイ用エアレススプレイノズル(3)より比較的低圧の下にて液膜(Fe)を吐出し、その液膜を上記被塗物(D)面上一面に塗布(Fc)してこれを予備塗布となし、しかる後、上記被塗物(D)の回転をより高速化して、より強力なる遠心力によって上記塗布された液膜(Fc)内の過剰の液体を被塗物(D)の外方に振り飛ばし、該被塗物(D)面上に、より薄いかつ均一厚の液膜(Fcf)に仕上げて塗布することを特徴とする液体のスピンコーティング方法。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
, G11B 5/842
, H01L 21/027
