特許
J-GLOBAL ID：200903013093021517

光源用反射鏡保持装置、光源装置及び露光装置

発明者：
笹本 昌樹

笹本 昌樹 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-083330
公開番号（公開出願番号）：特開2004-296125
出願日： 2003年03月25日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】放電ランプの周囲に設けられる反射鏡に熱偏分布を生じさせず、反射鏡の破損を防止できる光源用反射鏡保持装置を提供する。【解決手段】光源用反射鏡保持装置は、放電ランプを保持する保持部と、放電ランプの光束を反射する反射鏡2を支持する支持装置4とを備えている。支持装置4は、反射鏡2と接する部分である第1支持部材13の熱伝導率がガラス部材である反射鏡2とほぼ同程度の材質であるセラミックスにより構成されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
放電ランプを保持する保持部と、前記放電ランプの光束を反射する反射鏡を支持する支持手段とを備えた光源用反射鏡保持装置において、 前記支持手段は、前記反射鏡と接する部分の熱伝導率が前記反射鏡とほぼ同程度の材質で構成されていることを特徴とする光源用反射鏡保持装置。
IPC (5件)：
F21V29/00 ,  F21S2/00 ,  F21V7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (5件)：
F21V29/00 A ,  G03F7/20 521 ,  F21M1/00 K ,  H01L21/30 527 ,  H01L21/30 515C
Fターム (10件)：
3K014LA01 ,  3K014LB04 ,  3K042AA01 ,  3K042AB02 ,  3K042BB18 ,  3K042BE07 ,  3K042CC10 ,  5F046CA02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB27
引用特許：
審査官引用 (3件)

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