特許
J-GLOBAL ID：200903013104875947
電子放出制御のためのパターニングされた金属を用いたダイアモンド冷陰極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151157
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055564
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 電子放出制御のためにパターニングされた金属を用いて、抽出電極電流を大幅に低減すると共に、周囲の誘電体への電子注入を減少或いは解消する平面冷陰極電子エミッタを提供する。【構成】 平面冷陰極電子エミッタ(30)は、比較的平面な表面を有する基板を含み、この基板の表面に電子を放出するための低仕事関数の電子放出物質層(34)が形成されている。電子放出物質層(34)上に接触導電層(35)を配置し、それを貫通する開口(37)を規定する。接触導電層(35)上に絶縁層(38)を配置し、接触導電層(35)内の開口の延長上にありかつそれと周囲が整合された開口(39)を絶縁層(38)に規定し、絶縁層(38)上に導電ゲート層(40)を配置する。接触導電層(35)は電界電位を形成するので、放出は実質的に開口(37)の中央で起こる。
請求項（抜粋）：
平面冷陰極電子エミッタ(30)であって:比較的平面な表面を有する基板(33);前記基板表面に支持され、電子を放出する低仕事関数電子放出物質層(34);前記低仕事関数電子放出物質層(34)上に配置され、開口(37)が規定された接触導電層(35);前記接触導電層(35)上に配置され、前記接触導電層(35)内の前記開口(37)と実質的に周囲が整合された開口(39)が規定された絶縁層(38);および前記絶縁層(38)上に配置された導電ゲート層(40);から成ることを特徴とする平面冷陰極電子エミッタ(30)。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 31/15
, H05B 33/00
