特許

J-GLOBAL ID：200903013183940341

カセット室

発明者： 佐伯 弘明
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290503
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111810
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 2つの基板検出センサ部を設けることにより、小さな上下方向のストロークにより基板のマッピングを行なうことができるカセット室を提供する。【解決手段】 基板搬出入口20より上側に設けた第1の基板検出センサ部72と、基板搬出入口より下側に設けた第2の基板検出センサ部74とを備え、カセット載置台を上下方向へ移動させることにより第1の基板検出センサ部によりカセットC内の基板Wの有無を検出し、第2の基板検出センサ部によりダミー用カセット26内のダミー基板の有無を検出するようにする。これにより、カセット載置台のストローク量が少なくて済み、その分、カセット室の高さを小さくする。

請求項（抜粋）：

一側面に、複数の基板を多段に収容し得るカセットを搬入・搬出させるために開閉可能になされたカセット搬出入口を有し、これと略対向する他側面に前記カセット内の基板を搬入・搬出させるために開閉可能になされた基板搬出入口を有するカセット収納容器と、前記カセットを載置して昇降するカセット載置台と、このカセット載置台に、ダミー基板を収容するために固定的に設けられたダミー用カセットとを有するカセット室において、前記基板搬出入口より上側に設けた第1の基板検出センサ部と、前記基板搬出入口より下側に設けた第2の基板検出センサ部とを備え、前記カセット載置台を上下方向へ移動させることにより前記第1の基板検出センサ部により前記カセット内の基板の有無を検出し、前記第2の基板検出センサ部により前記ダミー用カセット内のダミー基板の有無を検出するようにしたことを特徴とするカセット室。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 処理装置及びその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-354476   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
• 特開平4-361553
  
• 特開平4-361553