特許

J-GLOBAL ID：200903013197625848

レーザ装置の出力制御装置

発明者： 天田 芳穂 ,  若林 理 ,  伊藤 仙聡
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249483
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106678
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】レーザ装置において発生するスパイキング現象を除去する制御を、常に精度よく行う。【構成】出力制御部6において、連続パルスの各パルスのエネルギーを所望の同一の値にする放電電圧のデータが連続パルスの各パルスごとに予め記憶される。出力モニタ5では、発振されたパルスのエネルギーが検出される。そして、前回までに行われた連続パルス発振時におけるパルスエネルギーの検出値とパルスエネルギーの所望値とが比較され、この比較結果に基づいて予め記憶しておいた各パルスに対応する各充電電圧が、出力制御部6において補正される。

請求項（抜粋）：

レーザ光を所定回数連続してパルス発振させた後、所定時間パルス発振を休止させる運転を繰り返すバーストモードでレーザ装置を運転させるとともに、前記パルスのエネルギーが所望の値となるようにレーザの励起強度を制御するレーザ装置の出力制御装置において、連続パルスの各パルスのエネルギーを所望の同一の値にする励起強度のデータを、前記連続パルスの各パルスごとに予め記憶する記憶手段と、発振されたパルスのエネルギーを検出する検出手段と、前回までにすでに行われた連続パルス発振時におけるパルスのエネルギー検出値と前記パルスエネルギー所望値とを比較し、該比較結果に基づいて、前記予め記憶された各パルスに対応する各励起強度のデータを補正する補正手段と、連続パルスの各パルスの励起強度が前記補正手段によって補正された励起強度となるように励起強度を制御する制御手段とを具えたレーザ装置の出力制御装置。

IPC (4件)：

H01S 3/104 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/225

FI (2件)：

H01L 21/30 515 B ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (4件)

• エキシマレーザ制御装置及び加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-353125   出願人：株式会社ニコン
• 特開平2-143481
  
• 特開平3-016287
  
• 特開平4-252013