特許

J-GLOBAL ID：200903013200539958

無人搬送車

発明者： 秋山 収司 ,  中尾 敬史
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  村田機械株式会社
代理人 (1件)： 矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038343
公開番号（公開出願番号）：特開2003-237941
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】 枚葉移載装置およびバッファカセットを搭載した無人搬送車において、バッファカセットに収納したウエハをマッピングする際に、マッピングセンサによりウエハが破損することのない無人搬送車を提供する。【解決手段】 バッファカセット5内に収納されたウエハ7を、該バッファカセットの開口部5aにおいて押さえ部材25により、開口部5aから飛び出さないように押さえ、その状態で、収納されたウエハに接触せずに昇降可能なマッピングセンサ24を無人搬送車1に配設し、押さえ部材25は、搬送時のウエハの飛び出し防止手段を兼ねる。

請求項（抜粋）：

ウエハを収納する多数の棚を備えたバッファカセットと、ウエハの移載を行う枚葉移載装置とを搭載する無人搬送車において、前記バッファカセットに収納されたウエハを該カセットの開口側から奥側に押さえる押さえ部材と、前記多数の棚に沿って移動して、各棚のウエハの有無を検出するセンサとを備えたことを特徴とする無人搬送車。

IPC (3件)：

B65G 49/07 ,  B61D 27/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/07 D ,  B65G 49/07 L ,  B61D 27/00 S ,  H01L 21/68 A

Fターム (33件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031GA43 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031GA58 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031JA36 ,  5F031JA50 ,  5F031KA02 ,  5F031KA12 ,  5F031LA15 ,  5F031NA02 ,  5F031PA02 ,  5F031PA20 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送車、マイクロデバイスの製造方法、及び基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-092362   出願人：株式会社ニコン
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-245478   出願人：富士通株式会社