特許
J-GLOBAL ID：200903013203814348
位相分布測定方法及びそれを用いた位相シフト電子モアレ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-263595
公開番号（公開出願番号）：特開平10-089929
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 干渉計で位相分布を有する測定光波と参照光波とを干渉させて得られる干渉縞画像から該位相分布を検出する際、レーザ光の強度分布や光学素子の薄膜コーティングムラに影響されず高精度に位相分布を測定できる位相分布測定方法及びそれを用いた位相シフト電子モアレ装置を得ること。【解決手段】 位相分布を有する測定光波と参照光波とを干渉させて得られる被測定画像を撮像素子で検出し、該撮像素子より出力する被測定画像信号と複数の参照画像の各々との画像間乗算によりモアレ縞画像を発生させ、該複数のモアレ縞画像を演算処理することにより該測定光波の位相分布を検出する際、該複数の参照画像は該被測定画像信号を利用して形成している。
請求項（抜粋）：
位相分布を有する測定光波と参照光波とを干渉させて得られる被測定画像を撮像素子で検出し、該撮像素子より出力する被測定画像信号と複数の参照画像の各々との画像間乗算によりモアレ縞画像を発生させ、該複数のモアレ縞画像を演算処理することにより該測定光波の位相分布を検出する際、該複数の参照画像は該被測定画像信号を利用して形成していることを特徴とする位相分布測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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