めっき方法およびめっき装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-210246
公開番号（公開出願番号）：特開2006-028595
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】ウェハーにめっき処理を行う際に、めっき電流の不通によるウェハーの品質異常を防ぐ。【解決手段】ウェハー54のめっき処理時に、主電源19の電圧を検出する。主電源19の電圧が設定電圧を越え、その状態が一定の主電源電圧異常誤検出防止時間以上継続した場合に、ウェハー54を回収する。これにより、めっき処理時において主電源19に電圧異常が生じた場合にはウェハー54が回収される。めっき処理開始時に、主電源19のON時より遅らせて補助電源20をOFFすると、めっき液の給液が遅れても、一時的な無通電状態の発生が回避される。めっき処理終了時に、主電源19のOFF時より早めて補助電源20をONすると、一時的な無通電状態の発生が回避される。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

主電源をONしてアノード電極からカソード電極へ通電することにより、ワークをめっき処理するめっき方法であって、前記ワークのめっき処理時に前記主電源の電圧が検出される電圧検出工程と、前記主電源の電圧が設定電圧を越えた場合に、前記ワークが回収されるワーク回収工程とを有することを特徴とするめっき方法。

IPC (3件)：

C25D 21/12 , C25D 7/00 , C25D 17/00

FI (3件)：

C25D21/12 D , C25D7/00 J , C25D17/00 K

Fターム (6件)：

4K024BB11 , 4K024BC01 , 4K024CB02 , 4K024CB03 , 4K024CB04 , 4K024CB24

引用特許：

出願人引用 (1件)

めっき装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-091623 出願人：ティーディーケイ株式会社

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