特許
J-GLOBAL ID：200903013260922629
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094095
公開番号（公開出願番号）：特開平11-342619
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 インクジェットヘッドの小型化、高精度化の要求に対応して、より一段と高い精度をもった振動板が得られるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インク液滴を吐出する複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備えたインクジェットヘッドを製造する際に、Si基板の一方の面に所定厚さの高濃度p型不純物層を形成し、前記Si基板の他方の面からSiのエッチングを行って前記高濃度p型不純物層を残留せしめてエッチングストップを行うことによって前記振動板を高精度に形成する工程を含むインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板を形成する工程で、電気化学エッチング停止法を併用してエッチングストップを行うようにした。
請求項（抜粋）：
インク液滴を吐出する複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備えたインクジェットヘッドを製造する際に、Si基板の一方の面に所定厚さの高濃度p型不純物層を形成し、前記Si基板の他方の面からSiのエッチングを行って前記高濃度p型不純物層を残留せしめてエッチングストップを行うことによって前記振動板を高精度に形成する工程を含むインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板を形成する工程で、電気化学エッチング停止法を併用してエッチングストップを行うことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
