特許
J-GLOBAL ID：200903021338838339
インクジェットヘッドの製造方法及びそのヘッドを用いたインクジェットプリンタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043602
公開番号（公開出願番号）：特開平9-234873
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 Si基板を異方性エッチングして形成するインクジェットヘッドにおいて、振動板の厚み精度を向上させて、吐出の安定性を増すことにより、安定した高品質の印字を可能とする。【解決手段】 ボロンドープ層46が形成され、酸化膜42がパターニングされているSi基板41を35w%水酸化カリウム水溶液で、ボロンドープ層46に達する直前までエッチングし、次いで5w%水酸化カリウム水溶液でエッチングを継続してエッチングストップさせる。さらにエッチングを継続し、所定の振動板厚みになるまでエッチングする。この方法により、エッチングストップに至るまでのエッチング面81の面荒れを抑え、エッチングストップ面82からの追加エッチングによって面荒れが低下する、という効果により、エッチング面83の面荒れがさらに低下し、振動板5の厚み精度を2±0.025ミクロンにできる。
請求項（抜粋）：
インク液滴を吐出する単一または複数のノズル孔と、該ノズル孔の各々に連結する吐出室と、該吐出室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備え、該駆動手段が該振動板を静電気力により変形させる電極からなり、該振動板が高濃度p型不純物層からなるSi基板であるインクジェットヘッドの製造方法において、前記Si基板の高濃度p型不純物層が形成された面の反対面から低濃度水酸化カリウム水溶液でエッチングし、該高濃度p型不純物層を残留せしめて振動板を形成し、残留せしめた該振動板を該低濃度水酸化カリウム水溶液でエッチングすることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
