特許

J-GLOBAL ID：200903013288100381

合波光源

発明者： 下津 臣一
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (2件)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-226644
公開番号（公開出願番号）：特開2007-041378
出願日： 2005年08月04日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】 複数の光源から出射された光を合波する合波光源において、光学手段を用いずに合波して、光強度が均一な合波光を得る。【解決手段】 複数の光導波路3の出射端から延びた該光導波路3を一体化した合波器4で光導波路3に入射された光を合波して合波光を形成する。合波器4から出射された合波光をロッドインテグレータ5に入射させ、合波光の光強度を均一化させて出力する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の光源と、 該複数の光源から出射された光を入射する複数の光導波路と、 該複数の光導波路の出射端から延びた該光導波路が一体化されて形成され、前記複数の光導波路から出射された光を合波して合波光を出射する合波手段と、 該合波手段の出射端に接続された透明媒体と、 を備え、前記透明媒体の入射端面の断面積が、前記合波手段の出射端面の断面積以上であることを特徴とする合波光源。

IPC (3件)：

G02B 6/42 ,  G02B 6/293 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B6/42 ,  G02B6/28 B ,  H01L21/30 527

Fターム (13件)：

2H137AA10 ,  2H137AA17 ,  2H137AB06 ,  2H137BA04 ,  2H137BA06 ,  2H137BB02 ,  2H137BC02 ,  2H137BC71 ,  2H137EA07 ,  2H137EA09 ,  5F046CB04 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 照明光学系およびそれを用いた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-194944   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 米国特許5864644号公報
  
• 米国特許6434302号公報