照明光学系およびそれを用いた露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194944
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032909
出願日： 2003年07月10日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】作製の容易なロッドタイプのオプティカルインテグレータを用いて、照明光強度を高度に均一化できる照明光学系を得る。【解決手段】光源66から発せられた照明光Bをロッドタイプのオプティカルインテグレータにより強度を均一化して空間光変調素子50に照射するように構成された照明光学系において、照明光Bの通過方向に直列に配して複数のオプティカルインテグレータ72A〜Cを用いる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

空間光変調素子に照明光を照射する光源と、この光源と前記空間光変調素子との間に配され、該空間光変調素子に照射される前記照明光の強度分布を一様化するロッドタイプのオプティカルインテグレータとを備えてなる照明光学系において、前記オプティカルインテグレータが、前記照明光の通過方向に直列に配して複数設けられていることを特徴とする照明光学系。

IPC (3件)：

H01L21/027 , G02B27/18 , G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D , G02B27/18 Z , G03F7/20 501

Fターム (8件)：

2H097AA20 , 2H097BA10 , 2H097BB10 , 2H097CA06 , 2H097GB00 , 5F046BA03 , 5F046CB13 , 5F046DA02

引用特許：

審査官引用 (5件)

照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-073342 出願人：株式会社リコー
照明装置及びそれを用いた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172158 出願人：キヤノン株式会社
エネルギー負荷を減らした照明システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-041364 出願人：カール・ツアイス・セミコンダクタ・マニュファクチュアリング・テクノロジイズ・アーゲー

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