外部光電効果型固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：最上健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092319
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267632
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】荷電粒子あるいは軟X線等の入射線を検出する外部光電効果型固体撮像装置において、検出感度を向上させ、ダイナミックレンジの拡大を図る。【構成】 P型半導体基板1の表面にN型拡散層2を拡散形成し、その表面に拡散層2の部分に窓開けを行った保護絶縁膜3を形成する。そして保護絶縁膜3の窓開け部3aを覆うように孤立したアルミニウム,半導体等の導電材料からなる画素電極4を、拡散層2とオーミック接触させて形成し、更に隣接する画素電極に跨がるように、絶縁層5を介してグリッド電極6を、画素電極4とは独立の電位を印加可能に配設して、外部光電効果型固体撮像装置を構成する。

請求項（抜粋）：

P-N接合部にオーミック接触を保った上部画素電極を設けた画素を行列状に二次元に配列し、イオンビームあるいは電子ビーム等の荷電粒子あるいは軟X線,紫外線等の入射線を前記画素の画素電極に入射させ、該画素電極より外部光電効果により二次電子を放出させて、画素電極及びP-N接合部の帯電状態を変化させ、その変化を検出するようにした外部光電効果型固体撮像装置において、前記各画素の画素電極より入射線入射側に、該画素電極と電気的絶縁を保ち独立な電位が印加可能なグリッド電極を配置したことを特徴とする外部光電効果型固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G01J 1/44 , H04N 5/335

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭61-074375
特開昭64-084176
特開平3-261029

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