経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239617
公開番号（公開出願番号）：特開平11-079747
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月23日
要約：

【要約】【課題】経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液を提供する。【解決手段】少なくともPb化合物を含む加水分解性金属化合物と、1-アルコキシ-2-プロパノ-ル類、3-メトキシブタノ-ル類、または1-ブトキシエタノ-ル類よりなる群から選ばれる1種または2種以上の溶媒とからなるPb系金属酸化物薄膜形成用溶液、必要に応じて、β-ジケトン類、β-ケトエステル類、カルボン酸類、エタノ-ルアミン類,ジオ-ル類、エステル類が添加され、上記Pb化合物が、Zr、Ti、La、Mg、Zn、Nb等を含有する化合物であり、さらにアセチルアセトンまたは2-エチルヘキサン酸が添加されるPb系金属酸化物薄膜形成用溶液。

請求項（抜粋）：

少なくともPb化合物を含む加水分解性金属化合物と、1-アルコキシ-2-プロパノ-ル類、3-メトキシブタノ-ル類、または1-ブトキシエタノ-ル類よりなる群から選ばれる1種または2種以上の溶媒とからなる経時変化のない安定性に優れたPb系金属酸化物薄膜形成用溶液。

IPC (2件)：

C01G 25/00 , H01B 3/12 301

FI (2件)：

C01G 25/00 , H01B 3/12 301

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-196749
強誘電体薄膜キャパシタの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-005772 出願人：オリンパス光学工業株式会社, シメトリックス・コーポレーション
特開昭61-097159

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