ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-059836
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249454
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】高感度かつパターン形状の優れたポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるヒドロキシポリイミド(A)100重量部とジアゾナフトキノン化合物(B)1〜50重量部とからなるポジ型感光性樹脂組成物である。【化14】

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるヒドロキシポリイミド(A)100重量部とジアゾナフトキノン化合物(B)1〜50重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

IPC (6件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/42 , C08L 79/08 , G03F 7/023 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/42 , C08L 79/08 Z , G03F 7/023 , H01L 21/30 502 R

Fターム (54件)：

2H025AA01 , 2H025AA10 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J002CM041 , 4J002EV246 , 4J002FD146 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J043PA02 , 4J043PB08 , 4J043PB15 , 4J043PC066 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043TA14 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA211 , 4J043UA212 , 4J043UA331 , 4J043UA332 , 4J043UA621 , 4J043UA622 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB282 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043ZA23 , 4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-284455
ビスマレイミド化合物及び感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-229791 出願人：株式会社東芝
特開昭64-060630

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