放射光位置モニターとその位置検出方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101868
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297166
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】 ?@位置検出精度が高く、?A高出力の放射光に長時間耐え(耐放射線性および耐熱性に優れ)、?B放射光に対する応答速度が高く、?C偏向電磁石からのバックグラウンドの影響を受けにくく、?D放射光の損失や散乱が少なく(透過性が高く)、放射線を使用しながら位置を計測する(オンライン計測)ことができ、?Eメンテナンスが容易で長期間安定に作動し、?F比較的製作が容易で安価であり、かつ?G高真空中に直接設置することができる放射光位置モニターを提供する。【構成】放射光11を遮って配置されるダイヤモンド板12と、ダイヤモンド板の両面に配置された複数の電極対14と、電極対に電圧を印加する直流電源17と、そこを流れる電流を計測する電流計測装置16とを備える。複数の電極対は、放射光との所定の交差位置(例えば中心)に対して対称に配置されている。

請求項（抜粋）：

放射光を遮って配置されるダイヤモンド板と、該ダイヤモンド板の両面に配置された複数の電極対とを有することを特徴とする放射光位置モニター。

IPC (2件)：

G01T 1/29 , C30B 29/04

FI (2件)：

G01T 1/29 C , C30B 29/04 A

引用特許：

出願人引用 (11件)

特開平1-199188
特開平4-145668
特開平4-093686

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審査官引用 (33件)

特開平1-199188
特開平1-199188
特開平1-199188

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