特許
J-GLOBAL ID:200903013483691025
インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
栗原 浩之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-029268
公開番号(公開出願番号):特開2000-225699
出願日: 1999年02月05日
公開日(公表日): 2000年08月15日
要約:
【要約】【課題】 圧力発生室と周壁との境界部での圧電体層の破壊を防止したインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12と、この圧力発生室12に対応する領域に設けられた下電極60、該下電極60上に設けられた圧電体層70及び該圧電体層70の表面に設けられた上電極80からなり、前記圧力発生室12に対向する領域に実質的な駆動部となる圧電体能動部320を有する圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電体能動部320を構成する前記圧電体層70及び前記上電極80が前記圧力発生室12に対向する領域内から領域外まで延設されており、該上電極80の前記圧力発生室12の端部と周壁との境界部分に対応する領域に、膜厚が他の部分よりも厚い厚膜部85を設け、圧電体層70の破壊を防止する。
請求項(抜粋):
ノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室に対応する領域に設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層の表面に設けられた上電極からなり、前記圧力発生室に対向する領域に実質的な駆動部となる圧電体能動部を有する圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電体能動部を構成する前記圧電体層及び前記上電極が前記圧力発生室に対向する領域内から領域外まで延設されており、該上電極は、前記圧力発生室の端部と周壁との境界部分に対応する領域に、膜厚が他の部分よりも厚い厚膜部を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (2件):
Fターム (13件):
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG90
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP34
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
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