特許
J-GLOBAL ID：200903013512250874
縞計数変位干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-071289
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253303
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：
【要約】【目的】 調整が容易な縞計数変位干渉計を提供すること、特にオフセット、振幅調整と、位相調整が独立にできること、さらに位相差が正確に90度に独自に調整できること、並びに、DCレベルが零で、振幅の等しい理想的な90度位相差をもつ二つの差信号が容易に得られる縞計数変位干渉計を提供すること。【構成】 互いに直交する偏光成分の参照光と測定光とからなる検出ビームを二つに分割し、一方に対して生ずる干渉光の位相の変移量を変更させる変移量可変手段を有し、互いに180度位相のずれた二つの干渉光を作成し、90度づつ位相差のある四つの検出信号を取り出して演算処理により被測定物の変位量を測定する縞計数変位干渉計。
請求項（抜粋）：
光源からの出力ビームを互いに直交する偏光成分毎に分割して参照光と測定光とに利用すると共に、参照対象物並びに被測定物から反射してきた検査光束を同軸上に合成して検出ビームを取り出す干渉光学系と、前記検出ビームを二つに分割する分割手段と、ここで分割された一方の検出ビームの直交する偏光成分間の位相を変移させる位相変移手段と、前記分割された夫々の検出ビームから互いに180度位相のずれた二つの干渉光をそれぞれ取り出す偏光干渉手段と、これらの四つの干渉光を夫々検出する検出手段とを備え、前記位相変移手段が、互いに直交する偏光成分間の位相の変移量を変更させる変移量可変手段を有しており、前記位相変移手段の変移量可変手段により、前記分割された一方の干渉光の位相が他方の干渉光の位相と90度づつ変移した状態で前記四つの干渉光を夫々検出し、該検出結果に基づいて被測定物の変位量を測定すること特徴とする縞計数変位干渉計。
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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