特許

J-GLOBAL ID：200903013571929090

3次元構造体およびその製造方法

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  星野 一憲 ,  野田 堅太郎 ,  蜂谷 修二 ,  吉田 英博 ,  小林 昌市 ,  中村 徹
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学 ,  松下電器産業株式会社
代理人 (4件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  和田 充夫 ,  岡部 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-010290
公開番号（公開出願番号）：特開2007-218906
出願日： 2007年01月19日
公開日（公表日）： 2007年08月30日
要約：

【課題】MEMS技術等を用いて形成される可動構造を有する微小3次元構造体要素が膜状弾性体内へ配置された3次元構造体において、上記膜状弾性体の柔軟性を阻害することなく効果的に活用できるような構造を提供する。【解決手段】可動構造を有する複数の微小3次元構造体要素としてのカンチレバー2を膜状弾性体3の内部に、各カンチレバーの変形の方向が互いに異なるように配置し、かつこのカンチレバー2に外力検知機能を持たせることで、外力の作用により膜状弾性体3に生じた弾性変形を検知できる構造とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動構造を有する複数の微小3次元構造体要素と、 上記それぞれの微小3次元構造体要素を互いに独立させてその内部に配置する膜状弾性体とを備える、3次元構造体。

IPC (7件)：

G01L 5/16 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G01P 15/18 ,  G01P 15/12 ,  H01L 29/84 ,  G01L 5/00

FI (7件)：

G01L5/16 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01P15/00 K ,  G01P15/12 D ,  H01L29/84 Z ,  G01L5/00 101Z

Fターム (16件)：

2F051AA10 ,  2F051AB09 ,  2F051BA07 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA41 ,  4M112CA46 ,  4M112CA47 ,  4M112CA53 ,  4M112CA54 ,  4M112DA03 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ハンド又はマニピュレータによる物体把持制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-062809   出願人：学校法人慶應義塾
• 3次元構造体の組立方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-009689   出願人：東京大学長

引用文献：

審査官引用 (1件)

• “300nm-thick cantilevers in PDMS for tactile sensing”