特許

J-GLOBAL ID：200903013581741464

塗布装置

発明者： 逸見 正史
出願人/特許権者： 京セラミタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231495
公開番号（公開出願番号）：特開2002-045754
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】浸漬塗布法において、塗布液中への気泡の発生を少なくするとともに、発生した気泡の後工程への移動を少なくし、円筒状基体の外表面に成膜むらがなく均質なサブミクロンオーダーの薄膜を塗布できるようにする。【解決手段】円筒状基体10をほぼ鉛直に保持した状態で、塗布液3に浸漬し、塗布液から外部に引き上げることにより前記円筒状基体の外表面に塗布液を塗布する塗布装置において、塗布液を収容しており前記円筒状基体が浸漬される塗工タンク1と、塗布液中の泡の発生を抑える脱泡タンク12と塗布液を塗工タンクに循環させる循環タンク2を有し、塗布液を循環タンクの下部から圧送ポンプ6で塗工タンク下部に送り込み,塗工タンク上縁部からオーバーフローさせて脱泡タンクに還流させ、脱泡タンクの下部から循環タンクの塗布液中に送り込む塗布液循環機構を備えるとともに脱泡タンクには塗布液の供給口13を設けた。

請求項（抜粋）：

円筒状基体をその円筒軸をほぼ鉛直に保持した状態で、塗布液に浸漬し、塗布液から外部に引き上げることにより前記円筒状基体の外表面に塗布液を塗布する塗布装置において、塗布液を収容しており前記円筒状基体が浸漬される塗工タンクと、少なくとも塗布液中の泡の発生を抑える脱泡タンクと塗布液を塗工タンクに循環させる循環タンクを有し、塗布液を循環タンクの下部から圧送ポンプで塗工タンク下部に送り込み,塗工タンク上縁部からオーバーフローさせて脱泡タンクに還流させ、脱泡タンクの下部から循環タンクの塗布液中に送り込む塗布液循環機構を備えるとともに脱泡タンクには塗布液の供給口を設けたことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 3/10 ,  B05C 11/10 ,  G03G 5/05 102

FI (3件)：

B05C 3/10 ,  B05C 11/10 ,  G03G 5/05 102

Fターム (18件)：

2H068AA21 ,  2H068AA26 ,  2H068EA16 ,  2H068EA20 ,  4F040AA07 ,  4F040AB06 ,  4F040AC01 ,  4F040BA47 ,  4F040CC09 ,  4F040CC10 ,  4F040CC12 ,  4F040DB22 ,  4F042AA03 ,  4F042AA06 ,  4F042CB02 ,  4F042CB11 ,  4F042CB20 ,  4F042CB25

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-163686   出願人：富士電機株式会社
• 特開平4-335646
  
• 特開平4-335646