特許
J-GLOBAL ID：200903013627385064
有機薄膜及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-330915
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187897
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】基板を構成し、かつ結晶構造を有する原子からなる界面の未結合部分と有機分子とが共有結合して前記有機分子からなる膜が形成されていることにより、配向配列の揃った有機薄膜を得る。【構成】基材としてシリコン基板(1) 2インチ径、面方位<1、1、1>を使用し、アセトンで洗浄後乾燥し、フッ化水素水でエッチングする。次に超純水を用いて水洗し、乾燥し、真空チャンバーで加熱処理し、室温まで自然冷却する。この処理によって基材表面に存在する吸着水は除去され、シリコン結晶の界面に位置するシリコン原子の未結合部分に水酸基が存在する。ここで、面方位<1、1、1>を使用しているので界面に存在するシリコン原子1個に対して水酸基が1つ形成されることになる。次に、化学吸着剤として末端にアセチレン結合を有するクロロシラン系有機分子を用いて化学吸着膜(4) を形成する。
請求項（抜粋）：
基板を構成し、かつ結晶構造を有する原子からなる界面の未結合部分と有機分子とが共有結合して前記有機分子からなる膜が形成されている有機薄膜。
IPC (5件)：
C30B 29/54
, C30B 25/02
, G11B 7/24 531
, H01F 1/00
, H01F 10/12
