特許

J-GLOBAL ID：200903013630995949

酸化物単結晶の育成方法

発明者： 鈴木 徹郎 ,  寺島 彰 ,  村下 憲治 ,  小見 利行 ,  寒河江英章
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-044812
公開番号（公開出願番号）：特開2007-223830
出願日： 2006年02月22日
公開日（公表日）： 2007年09月06日
要約：

【課題】 酸化物単結晶を、高品質で歩留まりよく製造することができる育成方法の提供を目的とする。 【解決手段】 単結晶育成炉を用い、ルツボの周囲に設けられた加熱手段の中点を縦座標軸の原点とし、該加熱手段の上端を+0.5とし、下端を-0.5としたときに、前記ルツボ内の融液最下面の位置を-0.5〜+0.1の範囲内の所望の位置に保持しつつ、育成炉内の縦方向の温度勾配を10°C/mm以下とし、引き上げシャフト先端に設けられた種子結晶を冷却しつつ、重量検出器により育成単結晶の重量を検出し、該育成単結晶の重量を基にルツボ周囲に配設された加熱手段の温度を制御し、予め求められたルツボ底の温度と育成時間と前記Hkとの関係を用いてHkが育成単結晶の直径に対して10%以下となるようにルツボ底の温度を調整する。【選択図】 なし。

請求項（抜粋）：

回転・昇降可能に設けられたルツボと、ルツボの周囲と下方とに設けられた加熱手段と、ルツボ上部に輻射熱を反射するために設けられた反射板と、これらを覆う保温材と、この保温材を貫通して設けられた回転・昇降可能に設けられ、かつその先端に設けられた種子結晶を冷却可能にされた引き上げシャフトと、該引き上げシャフトの上部に連結された重量検出器とから主として構成される単結晶育成炉を用いた単結晶育成方法であり、育成炉内縦方向の温度勾配を小さくし、前記引き上げシャフト先端に設けられた種子結晶を冷却しつつ、前記重量検出器により育成単結晶の重量を検出し、該育成単結晶の重量と、該重量を検出したときに予定とされた目標直径値より定められる育成単結晶の目標重量値との偏差が0になるようにルツボ周囲に配設された加熱手段の温度を制御し、単結晶を育成することを特徴とする酸化物単結晶の育成方法。

IPC (1件)：

C30B 15/28

FI (1件)：

C30B15/28

Fターム (5件)：

4G077EH04 ,  4G077EH07 ,  4G077PF23 ,  4G077PF28 ,  4G077PF29

引用特許：

出願人引用 (1件)

• サファイア単結晶育成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-044508   出願人：住友金属鉱山株式会社