特許
J-GLOBAL ID：200903013649768471
スライスベース剥離装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-000385
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199833
出願日： 1997年01月06日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】ウェーハ剥離後に、熱水槽内に残されたスライスベース付ワークブロックを自動で熱水槽内から取り出し、搬出することができるスライスベース剥離装置の提供。【解決手段】剥離装置本体12によるウェーハWの剥離作業が終了すると、熱水槽16内にはスライスベース付きワークブロックBが残される。この熱水槽16内に残されたスライスベース付きワークブロックBは、取出装置100によって熱水槽16内から取り出され、該取出装置100によってローラコンベア130上に移送される。そして、そのローラコンベア130上に載置されたスライスベース付きワークブロックBは、ローラコンベア130によってスライスベース剥離装置10外に搬出される。
請求項（抜粋）：
切断の終了したウェーハを熱水中に浸漬させ、該ウェーハをスライスベースから剥離するスライスベース剥離装置において、ウェーハ剥離後に、スライスベースが接着されたワークブロックを熱水槽から取り出す取出手段と、前記取出手段によって前記熱水槽から取り出したワークブロックを受け取るとともに、その受け取ったワークブロックを前記スライスベース剥離装置外に搬送する搬送手段と、を備えたことを特徴とするスライスベース剥離装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 311
, H01L 21/68
H01L 21/304 311 A
, H01L 21/68 N
