非線形光学結晶素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003280
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244310
出願日： 1995年01月12日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】高出力の紫外レーザ光を発生するレーザ光源の信頼性を向上することができる非線形光学結晶素子を提供する。【構成】基本波となる光ビームが照射される入射面1bと、紫外線波長域の光ビームを出射する出射面1cと、上記入射面1bと上記出射面1cに各々形成された多層の膜2a,2b,2c,3a,3b,3cからなる保護膜2,3とを備え、上記保護膜2,3のうち上記入射面1bもしくは上記出射面1cと直接接する膜2a,3aが、イオンプレーティング法により形成されている。

請求項（抜粋）：

照射された基本波となる光ビームに基づいて紫外線波長域の光ビームを発生する非線形光学結晶素子であって、上記基本波となる光ビームが照射される入射面と、上記紫外線波長域の光ビームを出射する出射面と、上記入射面と上記出射面に各々形成された少なくとも2層の膜からなる保護膜とを備え、上記保護膜のうち上記入射面もしくは上記出射面と直接接する膜は、イオンプレーティング法により形成されていることを特徴とする非線形光学結晶素子。

IPC (2件)：

G02F 1/37 , G02F 1/35 505

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-247601
特開平4-038885
特開平2-250043

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