ウェハ搬送フォーク

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087663
公開番号（公開出願番号）：特開平9-252042
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】ウェハがウェハ搬送フォークから落下することなくウェハを搬送できるようにする。【解決手段】ウェハを載置して搬送するウェハ搬送フォークにおいて、ウェハ搬送フォーク1の上面にウェハ載置面2を設け、このウェハ載置面2の外側に階段状の段3、4を2つ設けるようにしている。

請求項（抜粋）：

ウェハを載置して搬送するウェハ搬送フォークにおいて、ウェハ搬送フォークの上面にウェハ載置面を設け、このウェハ載置面の外側に階段状の段を2つ設けたことを特徴とするウェハ搬送フォーク。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

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