特許
J-GLOBAL ID：200903013694124909
位相シフト干渉縞の同時計測方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-164291
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337321
出願日： 1998年05月28日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】 空気揺らぎの影響を受けにくい共通光路型であり、光学部品の面精度の影響を受けずに、比較的高精度の測定を行うことができる位相シフト干渉縞の同時計測方法及び装置を得るにある。【解決手段】 直交偏光状態の参照光と計測光からなる無干渉光束を発生させ、この無干渉光束を複数の無干渉分光光束に分割し、これらの各無干渉分光光束に含まれる参照光及び計測光のいずれか一方の位相を波長板を用いて無干渉分光光束ごとに異った状態に遅延させると共に、同遅延光と残る参照光及び計測光の他方に干渉させて無干渉分光光束ごとに異なった位相の複数の光学的干渉縞を同時的に得る位相シフト干渉縞の同時計測方法。
請求項（抜粋）：
直交偏光状態の参照光と計測光からなる無干渉光束を発生させ、この無干渉光束を複数の無干渉分光光束に分割し、これらの各無干渉分光光束に含まれる参照光及び計測光のいずれか一方の位相を波長板を用いて無干渉分光光束ごとに異った状態に遅延させると共に、同遅延光と残る参照光及び計測光の他方に干渉させて無干渉分光光束ごとに異なった位相の複数の光学的干渉縞を同時的に得ることを特徴とする位相シフト干渉縞の同時計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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